椤圭洰鏁堟灉鍥俱€傚彈璁垮崟浣� 渚涘浘

闆嗘垚鐢佃矾鏄浗涔嬮噸鍣紝浜嬪叧鍥藉瀹夊叏鍜屽浗姘戠粡娴庡懡鑴夛紝涔熸槸閲嶅簡甯傚ぇ鏁版嵁鏅鸿兘鍖栧彂灞曠殑鍩虹浜т笟銆傝鑰呬簡瑙ｅ埌锛岃繎鏃ュ張涓€闆嗘垚鐢佃矾椤圭洰鈥斺€斿ゥ鏉惧崐瀵间綋8鑻卞MEMS鐗硅壊鑺墖IDM浜т笟鍩哄湴椤圭洰钀芥埛瑗块儴锛堥噸搴嗭級绉戝鍩庛€�

鎹倝锛岃椤圭洰宸茶幏寰楀浗瀹剁浉鍏抽儴濮旀壒鍑嗭紝鎬绘姇璧�35浜垮厓锛屾嫙鐢ㄥ湴200浜╋紝鍖呭惈8鑻卞CMOS+MEMS鐗硅壊浼犳劅鍣ㄨ姱鐗囬噺浜х嚎銆�8鑻卞MEMS鐗硅壊鏅跺渾蹇€熺爺鍙戠嚎銆佽溅瑙勭骇浼犳劅鍣ㄥ彲闈犳€ф娴嬩腑蹇冦€佷骇瀛︾爺绉戠爺涓績鍙婂ゥ鏉惧崐瀵间綋鐮斿彂鍔炲叕澶фゼ绛夊缓璁鹃」鐩紝鎶€鏈兘鍔涜鐩朇MOS+MEMS鐗硅壊宸ヨ壓锛屽彲瀹炵幇鍚勭被MEMS浼犳劅鍣ㄤ骇鍝佺殑鐮斿彂鍜屾壒閲忕敓浜с€�

璇ラ」鐩彲鍏ㄩ潰寮€灞曡〃闈㈢銆佷綋纭呬互鍙婃柊宸ヨ壓銆佹柊鍣ㄤ欢銆佹柊绯荤粺鐨勭爺鍙戝拰閲忎骇锛涘叿鏈塎EMS鍘嬮樆銆佸帇鐢点€佺鍏夈€佺鏉愭枡銆丮OX銆佸井娴佹帶绛夌浉鍏冲伐鑹虹殑鐮斿彂鍜岄噺浜ц澶囷紝澶у箙鎻愬崌浜у搧鐮斿彂鐨勬垚鍔熺巼锛屽疄鐜颁骇鍝佷粠鐮斿彂鍒伴噺浜х殑鏃犵紳琛旀帴銆�

椤圭洰鎶曡祫涓讳綋涓哄箍宸炲ゥ鏉剧數瀛愯偂浠芥湁闄愬叕鍙革紙涓嬬О锛氬ゥ鏉剧數瀛愶級锛屾槸搴旂敤MEMS鍗婂浣撳伐鑹烘妧鏈敓浜т紶鎰熷櫒鐗硅壊鑺墖鐨勫浗瀹剁骇涓撶簿鐗规柊鈥滃皬宸ㄤ汉鈥濅紒涓氾紝涔熸槸MEMS棰嗗煙闆嗙爺鍙戙€佽璁°€佸埗閫犮€佸皝瑁呮祴璇曘€佺粓绔簲鐢ㄤ负涓€浣撶殑MEMS鏅鸿兘浼犳劅鍣ㄥ叏浜т笟閾撅紙绠€绉癐DM锛変紒涓氥€傚ゥ鏉剧數瀛愭嫢鏈変竴鏀�200浣欏悕宸ョ▼甯堢粍鎴愮殑涓撹亴鐮斿彂鍥㈤槦锛屽寘鍚繎30浜虹殑娴峰綊鍗氬＋鍙婄澹爺绌剁敓鍥㈤槦锛岃繎浜斿勾鏉ュ勾鍧囩爺鍙戠粡璐规姇鍏ュ崰钀ヤ笟鏀跺叆鎬婚鐨�20%浠ヤ笂锛岃繎涓夊勾绱寮€灞曠爺鍙戦」鐩繎30椤癸紝鍧囧凡褰㈡垚绉戞妧鎴愭灉骞舵垚鍔熻浆鍖栵紝鍚屾椂宸茬敵璇疯幏寰楀悇椤瑰彂鏄庛€佸疄鐢ㄦ柊鍨嬪強杞欢钁椾綔鏉冪瓑涓撳埄鐭ヨ瘑浜ф潈瓒呰繃300椤广€�

涓轰綍閫夋嫨钀芥埛绉戝鍩庯紵鈥滅瀛﹀煄鐨勯泦鎴愮數璺骇涓氬熀纭€杈冨ソ锛岄泦鑱氱殑涓浗鐢电銆丼K娴峰姏澹€佽仈鍚堝井鐢靛瓙涓績绛夐泦鎴愮數璺骇涓氬ご閮ㄤ紒涓氾紝灏嗘湁鍔╀簬浼佷笟浜т笟鍗忓悓鍒涙柊鍜岃妯″寲鍙戝睍銆傗€濆ゥ鏉剧數瀛愮浉鍏宠礋璐ｄ汉琛ㄧず锛屽悓鏃惰繕灏嗛潰鍚戞垚娓濆湴鍖哄弻鍩庣粡娴庡湀鍙婂浗鍐呭鐩稿叧浜т笟鎻愪緵閮ㄥ垎MEMS鐗硅壊鍗婂浣撹姱鐗囧紑鍙戝悎浣溿€佽澶囧叡浜€佹妧鏈敮鎸佺瓑鏈嶅姟锛岄€愭瀹屽杽绉戝鍩庨泦鎴愮數璺骇涓氫綋绯汇€�

鐩墠锛岀瀛﹀煄宸叉瀯寤鸿捣浠嶦DA骞冲彴銆佸叡浜獻P搴撱€佽姱鐗囪璁°€佸埗閫犲埌灏佽娴嬭瘯鐨勯泦鎴愮數璺叏鏂颁骇涓氶摼锛屽惛寮曚簡SK娴峰姏澹€佸崕娑﹀井鐢靛瓙銆佷腑鍥界數绉戙€佽タ鍗楅泦鎴愮瓑涓€鎵圭煡鍚嶉泦鎴愮數璺紒涓氳仛闆嗗彂灞曪紝鍒濇鏋勫缓浜嗘兜鐩栦汉鎵嶅煿鍏汇€佷骇涓氬鍖栥€侀獙璇佷豢鐪熴€佸伐鑹烘湇鍔＄殑浜т笟鍒涙柊鐢熸€併€�